ایم ای ایم ایس پریشر سینسر کیا ہے؟
ایم ای ایم ایس مائیکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم کا مخفف ہے ، یعنی مائکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم۔ ایم ای ایم ایس ٹکنالوجی کو 21 ویں صدی میں انقلابی اعلی - ٹیکوں میں سے ایک کے طور پر سراہا گیا ہے اور 1950 کی دہائی تک اس کا سراغ لگایا جاسکتا ہے۔
مائکرو الیکٹرو مکینیکل سسٹم (ایم ای ایم ایس) ٹکنالوجی سے مراد مائکرون/نینوومیٹر مواد کو ڈیزائننگ ، مینوفیکچرنگ ، پیمائش اور کنٹرول کرنے کی ٹکنالوجی ہے۔
ایم ای ایم ایس پریشر سینسر ایک پریشر سینسر ہے جو مینوفیکچرنگ کے عمل کے ذریعہ تیار کیا گیا ہے جو مائکرو الیکٹرانکس ٹکنالوجی اور مائکرووماچیننگ ٹکنالوجی کو یکجا کرتا ہے (جس میں سلیکن بلک مائکرو مچیننگ ، سلیکن سطح مائکرو مچیننگ ، بانڈنگ اور دیگر ٹیکنالوجیز شامل ہیں)۔ ایم ای ایم ایس پریشر سینسر مختلف پہلوؤں جیسے سائز ، درستگی اور ردعمل کی رفتار میں عمدہ کارکردگی کا مظاہرہ کرتا ہے۔
ایم ای ایم ایس پریشر سینسر کی درجہ بندی
مختلف کام کرنے والے اصولوں کی بنیاد پر ، سلیکن مواد پر مبنی ایم ای ایم ایس پریشر سینسر کو تین قسموں میں تقسیم کیا جاسکتا ہے: سلیکن پیزورسیسٹیو قسم ، سلیکن کیپسیٹیو قسم اور سلیکن گونج کی قسم۔
سلیکن پیزورسیسٹیو پریشر سینسر
پیزورسیسٹیو اثر سے مراد اس رجحان سے مراد ہے کہ جب سیمیکمڈکٹر مادے کو تناؤ کا نشانہ بنایا جاتا ہے تو ، اس سے توانائی کے بینڈ میں تبدیلی ، وادیوں کی توانائی کی تبدیلی کا سبب بنتا ہے ، اور اس طرح سیمیکمڈکٹر مزاحمت کی مزاحمیت کو تبدیل کیا جاتا ہے۔
پیزورسیسٹیو پریشر سینسر ایک پریشر سینسر ہے جو پیزورسٹیو اثر کو بروئے کار لاتے ہوئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس میں چھوٹے سائز ، اعلی حساسیت اور تیز ردعمل شامل ہیں۔ تاہم ، اس کی تیاری کا عمل پیچیدہ ہے اور یہ درجہ حرارت اور کمپن سے آسانی سے متاثر ہوتا ہے ، اس طرح درجہ حرارت کے معاوضے کی ضرورت ہوتی ہے۔
سلیکن کیپسیٹو پریشر سینسر
سلیکن کیپسیٹیو پریشر سینسر ایک قسم کا پریشر سینسر ہے جو سلیکن مواد کو سینسنگ عناصر کے طور پر استعمال کرتا ہے اور ناپے ہوئے مقدار کی تبدیلیوں کو اہلیت کی تبدیلیوں میں تبدیل کرتا ہے۔
یہ عام طور پر سرکلر دھات کی فلم یا دھات - چڑھایا ہوا فلم کیپسیٹر کے ایک الیکٹروڈ کے طور پر ملازمت کرتا ہے۔ جب فلم دباؤ کے اثر و رسوخ کے تحت خراب ہوجاتی ہے تو ، فلم اور فکسڈ الیکٹروڈ میں تبدیلی کی گنجائش ہوتی ہے۔ پیمائش سرکٹ کے ذریعے ، ایک برقی سگنل جس کا وولٹیج کے ساتھ ایک خاص رشتہ ہے وہ آؤٹ پٹ ہوسکتا ہے۔
اس قسم کے سینسر کے فوائد میں اعلی حساسیت ، اچھی استحکام ، اور وسیع لکیری رینج شامل ہیں۔ تاہم ، اس کے نقصانات نسبتا high زیادہ قیمت ہیں اور درجہ حرارت اور نمی سے آسانی سے متاثر ہوتے ہیں۔
سلیکن گونج دباؤ سینسر
سلیکن گونج پریشر سینسر ایک قسم کا پریشر سینسر ہے جو اس اصول کی بنیاد پر ہے کہ سلیکن مادے پر بیرونی دباؤ میں تبدیلی گونجنے والے کی گونج فریکوئنسی میں تبدیلی کا سبب بنتی ہے ، گونج فریکوینسی میں تبدیلی میں ماپا دباؤ میں تبدیلی کو تبدیل کرتی ہے۔
سلیکن گونج دباؤ سینسر میں اعلی صحت سے متعلق ، اعلی ریزولوشن ، اعلی اینٹی- مداخلت کی صلاحیت شامل ہے ، جو لمبی - فاصلے کی ترسیل کے لئے موزوں ہے ، اور ڈیجیٹل آلات سے براہ راست منسلک ہونے کے قابل ہے۔ تاہم ، اس میں ایک طویل پیداوار سائیکل ، اعلی قیمت ، اور آؤٹ پٹ فریکوینسی اور پیمائش کی مقدار اکثر نان لائنر تعلقات میں ہوتی ہے۔
پیزورسیسٹیو پریشر سینسر کا کام کرنے کا اصول
ایک MEMS pizoresistive پریشر سینسر کا حساس عنصر ایک حساس چپ اور معاون سبسٹریٹ پر مشتمل ہوتا ہے۔ حساس عنصر کے ابتدائی خصوصیت کے پیرامیٹرز سینسر کے متعدد کلیدی پیرامیٹر اشارے کو مستحکم کرتے ہیں اور سینسر کی بنیادی حیثیت رکھتے ہیں۔
سلیکن پیزورسیسٹیو پریشر - حساس چپ ایک حساس چپ ہے جس میں حساس عنصر اور تبادلوں کا عنصر اسی واحد - کرسٹل سلیکن سبسٹریٹ پر مربوط ہوتا ہے۔ سینسنگ پریشر کے لئے حساس عنصر ایک لچکدار سلیکن پلانر ڈایافرام ہے جس میں مہر بند اور مقررہ دائرہ ہے۔ ڈایافرام کے پچھلے حصے میں سلیکن مواد کو ہٹا دیا گیا ہے تاکہ ایک الٹی چوکور -} {5- شکل کی گہا تشکیل دی جاسکے۔ مختلف موٹائی کے ساتھ سلیکن لچکدار ڈایافرام مختلف دباؤ کی پیمائش کی حدود ، حساسیت اور اوورلوڈ صلاحیتوں کا تعین کرتے ہیں۔
ڈایافرام کے آس پاس معاون سائیڈ والز کی طاقت کو بہتر بنانے کے ل ، ، سخت پیکیجنگ تناؤ کو الگ تھلگ کرنے ، اور چپ سبسٹریٹ کی برقی موصلیت کی کارکردگی ، چپ کے سلیکن سبسٹریٹ کو موٹی شیشے کے سبسٹریٹ پر ٹکڑے ٹکڑے کرنا چاہئے جس میں مماثل تھرمل توسیع کی خصوصیات ہیں۔ ٹکڑے ٹکڑے کے بعد ، گہا کے ساتھ چپس جو محیط ماحولیاتی دباؤ کے ساتھ بات چیت کرتے ہیں گیج پریشر کی پیمائش کے لئے استعمال کی جاسکتی ہے ، جبکہ گہا کے ساتھ چپس کو محیط ماحولیاتی دباؤ سے الگ تھلگ کیا جاسکتا ہے۔
سنسنی خیز پیمائش والے دباؤ کو بجلی کے اشاروں میں تبدیل کرنے والے سلیکن پیزورسٹیو ریزسٹرس فلیٹ ڈایافرام کی اوپری سطح پر پرت پر واقع ہیں۔ روایتی ڈیزائن یہ ہے کہ فلیٹ ڈایافرام کے کنارے یا مرکز کے قریب پیزورسیسٹیٹو مزاحموں کو رکھنا ہے۔ جب فلیٹ ڈایافرام ماپا دباؤ کی کارروائی کے تحت ، جب ڈایافرام کے چھوٹے چھوٹے حص action ے کی بنیاد پر (ڈایافرام کے مرکز میں زیادہ سے زیادہ عیب 500 مائکرو اسٹرینز سے کہیں زیادہ ہے) کے تحت ، پیزورسٹیٹو مزاحمیت میں تبدیلی کا استعمال کرتے ہوئے ، یہ ایک ایسا بجلی کا اشارہ ہے جو ایک ایسا بجلی کا اشارہ ہے جو خطوط کو تبدیل کرتا ہے۔
حساس چپ کی پیمائش کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے ل the ، چار پیزوریسٹو حساس مزاحموں کو ہوائی جہاز میں وہٹ اسٹون پل بنانے کے لئے ترتیب دیا گیا ہے۔ جب ناپے ہوئے دباؤ کو لاگو کیا جاتا ہے تو ، مخالف بازوؤں کے ایک جوڑے کی مزاحمت بڑھ جاتی ہے ، جبکہ مخالف بازوؤں کے دوسرے جوڑے کی مزاحمت کم ہوجاتی ہے ، جس سے ماپا دباؤ کے ساتھ وہٹ اسٹون پل کا غیر متوازن وولٹیج آؤٹ پٹ لکیری طور پر تبدیل ہوجاتا ہے۔
پیزورسیسٹیو پریشر سینسر کی ایپلی کیشنز
مختلف صنعتوں اور شعبوں میں ایم ای ایم ایس پیزورسیسٹیو پریشر سینسر بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں ، جیسے ایرو اسپیس ، نیویگیشن ، پیٹرو کیمیکل انڈسٹری ، مکینیکل مینوفیکچرنگ اور آٹومیشن ، واٹر کنزروسینسی اور ہائیڈرو پاور ، صنعتی گیسیں ، بائیو میڈیکل انجینئرنگ ، موسمیات ، ارضیات ، زلزلے کی پیمائش اور اسی طرح۔